Наименование продукции, название и адрес фирмы - изготовителя, информация о составе, дата изготовления, срок хранения, условия хранения
экспертного заключения об опасных свойствах вещества ФБУЗ "Российский регистр потенциально опасных химических и биологических веществ" Роспотребнадзора № 07/22-1318 от 03.11.2016 г. Информационной карты потенциально опасного химического и биологического вещества серия ВТ № 001856
Единым санитарно-эпидемиологическим и гигиеническим требованиям к товарам, подлежащим санитарно-эпидемиологическому надзору (контролю)
"Versum Materials US, LLC", 7201 Hamilton Blvd, Allentown PA 18195-1501, USA (США)
для осаждения легированных фосфором слоев оксида кремния при производстве микросхем сверхбольшой интеграции
Оксид триэтоксифосфата/TEPO (TRIETHYL PHOSPHATE). Наименование вещества: по IUPAC: Триэтилфосфат. синонимы и торговые названия: Этилфосфат; трисэтиловый эфир фосфорной кислоты; этиловый эфир фосфорной кислоты; триэтоксифосфин оксид. (CAS: 78-40-0) (EC: 201-114-5)
ООО "ЭЛИНТ СП", 127018, г. Москва, 3-й проезд Марьиной Рощи, д. 40, стр. 1, этаж 6 (Российская Федерация)
паспорт безопасности (SDS)
