Наименование продукции, название и адрес фирмы - изготовителя, информация о составе, дата изготовления, срок хранения, условия хранения
экспертного заключения об опасных свойствах вещества ФБУЗ "Российский регистр потенциально опасных химических и биологических веществ" Роспотребнадзора № 07/22-620 от 10.06.2014 г., Информационной карты потенциально опасного химического и биологического вещества серия ВT № 001856
Единым санитарно-эпидемиологическим и гигиеническим требованиям к товарам, подлежащим санитарно-эпидемиологическому надзору (контролю)
"ATMI GmbH", Inselkammerstrasse 2, D-82008, Unterhaching (Гeрмания)
для осаждения легированных фосфором слоев оксида кремния при производстве микросхем большой интеграции
Оксид триэтоксифосфата / TEPO (TRIETHYL PHOSPHATE) Наименование вещества по IUPAC: Триэтилфосфат; синонимы и торговые названия: Этилфосфат; трисэтиловый эфир фосфорной кислоты; этиловый эфир фосфорной кислоты; CAS: 78-40-0 ЕС: 201-114-9
ООО "ЭЛИНТ СП", 127018, г. Москва, 3-й проезд Марьиной Рощи, д. 40, стр. 1, этаж 6 (Российская Федерация)
паспорт безопасности (MSDS)
